我國電子工業部高純水水質試行標準

我國電子工業部高純水水質試行標準化學指標單位：
μg/L
 

我國電子工業部高純水水質試行標準化學指標單位：μg/L
序號 水質項目 一級高純水指標 二級高純水指標
1 電阻率（25℃）MΩ·cm ≥15 ≥10
2 電導率，μs/cm 0.05 0.1
3 PH值 6.8～7.2 6.6～7.4
4 細菌總數，個/mL ＜3 ＜9
5 微粒（直徑＞0.5μm，粒/mL） ＜150 ＜300
6 二氧化硅 ＜10 ＜20
7 有機物（以COD計） ＜0.3 ＜0.5
8 鈉 Na ＜0.5 ＜2
9 鐵 Fe ＜1 ＜2
10 銅 Cu ＜0.5 ＜1
11 鈣 Ca ＜1 ＜3
12 鎂 Mg ＜0.2 ＜1
13 鋅 Zn ＜0.5 ＜1
14 錳 Mn ＜0.2 ＜0.5

說明：①一級高純水適用于大規模集成電路，微波器件以及有相同要求到半導體器件產品?！　　、诙壐呒兯m用于一般電路，分立器件以及有相同要求的半導體器件產品?！　　、郾颈戆?980年電子工業部標準摘錄。